“+/-”键 选择键按该键可移动到前一个或后一菜单，也能调整参数的数值;

  b. J6与J7为RS232与RS485通讯接口，经过它们能与PC树立通讯衔接;

  供给的冷却水压力要到达 3 bar – 7 bar(肯定压力)。一起保证进水口和出水口，压差至少在2 bar以上，冷却水温度为 10 – 25 ℃。

  水流量计，可在开机时调理水流量，此泵也装备了流量开关，一旦水流量低于15 l/h，泵会主动报警。

  泵的N2压力也要到达3 bar – 7 bar(肯定压力)，而每台泵都装备了压力表，调理阀以及氮气质量流量计，可根据工艺来调理N2的实践流量。

  b. 冷却水三通阀，下图翻开状况为正常状况，操控着罗茨泵电机的冷却水管路。

  当ADP泵温度高于设定温度时阀门翻开，ADP设置温度一般为100摄氏度;

  银白色不锈钢管为氮气吹扫管道，总管又分出六路支管道通入机械泵内，对泵进行吹扫，避免反响气体构成SiN，导致泵卡死。

  该泵运用的泵油为Alcatel A113 组成油一般的情况下，泵油一年换一次;

  上图为真空泵输入信号线与输出操控线的接口，经过这一些接线端子操控单元对泵体进行监测与操控;

  ROOTS CMD(罗茨泵独自发动指令)：DISABLED，此设定表明在发动ADP泵的时分主动发动罗茨泵;

  PURGE CMD(气体吹扫独自发动指令)：DISABLED，此设定表明真空泵在运行时进行不间断吹扫;