bob官方体育:汉钟精机：公司半导体真空泵在清洁、中度苛刻、苛刻制程都有在推行运用
发布时间：2023-03-12 12:08:49
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汉钟精机002158）在最新发表的投资者联络活动记载表中表明，公司氢动力用空压泵现在还在研制、验证阶段。公司半导体真空泵在清洁、中度苛刻、苛刻制程都有在推行运用，详细运用于LL、去胶、刻蚀、PVD、CVD等制程。现在多用于相对洁净的制程。
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