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  来源：内容由半导体行业观察（ID:icbank）转载自公众号「芯谋研究」，作者：张彬磊，谢谢。

  洗净服务是新设备零部件组装前的必不可少的关键环节，也是使用中的设备日常保养和维护的重要措施和必要环节。半导体设备零部件对洗净及延伸服务厂商在资金、技术、人才和客户资源等每个方面要求要明显高于面板行业。而面板设备零部件洗净行业的零部件较大、市场之间的竞争激烈、更看重价格，两者差别明显。随着产业的发展，洗净服务企业的业务由单纯的洗净业务延伸到陶瓷熔射和阳极氧化等附加值较高的服务领域。泛半导体洗净市场的服务产品几乎涵盖了整个工艺制程的设备零部件，其中以刻蚀设备和薄膜生长设备零部件业务为主，其他工艺制程的设备零部件（如离子注入、蒸镀、OpenMask、炉管、化学机械研磨和光刻设备零部件）也都有必要进行定期的洗净保养，只是业务比重不大。

  陶瓷熔射的涂层性能包括涂层厚度、硬度、结合强度、孔隙率、耐磨性、电化学性能、抗腐蚀性、表面离子污染和杂质污染等物理化学性质和使用性能。随着产业的发展设备零部件对耐腐蚀涂层的要求慢慢的升高，应用场景范围也慢慢变得大。陶瓷熔射的主要零部件包括：半导体刻蚀腔体内内衬、钟罩、静电吸盘、气体分配盘等关键零部件，TFT刻蚀腔体中的陶瓷板、内壁板、上部电极、下部电极等重要零部件， 在物理和化学气相沉积设备的腔体中也有应用。

  氧化加工服务是为泛半导体显示行业的干刻刻蚀设备零部件提供表面阳极氧化加工处理，使零部件达到规定的尺寸、平面度、表面粗糙度、抵抗腐蚀能力、表面颗粒污染物等技术指标要求，以抵抗刻蚀过程中刻蚀气体的腐蚀，保护腔体核心部件，减少刻蚀副产物的污染。主要使用在到干刻设备的腔体挡板、上部电极、下部电极等上千款零部件上。

  本次统计数据不包含处于停滞、进展受阻和未启动项目,也未考虑未来几年新设立项目。同时本次估算市场大小时采用的是调研获得信息中较保守的数据。根据芯谋研究对Foundry资深设备工程师、设备厂商的现场支持工程师（LAM、AMAT、TEL）、设备厂商的负责设备清洗的主管、设备厂商的战略和市场经理以及清洗服务商等走访调研了解到的信息。一个满足28nm工艺需求的月产能2万片的12吋工厂，每年的洗净养护费用约2500万人民币左右；一个满足0.13um工艺需求的月产能5万的8吋工厂，每年的洗净养护费用约3000万人民币；一个月产能130K左右的8.5代面板厂每年的洗净养护费用3500万人民币左右。不同技术节点的半导体工厂单位洗净成本也不尽一样，不同世代的面板厂之间的单位清洗成本也不同。

  根据芯谋研究不完全统计，12吋Fab国内共有47个，其中27个Fab运营情况相对良好，在进行未来市场预估时仅纳入这27个Fab的规划产能。2020年国内12吋半导体厂总产能有88万片/月，在2025年将达到185万片/月，实现产能翻倍。根据以上的调研信息和预测分析，2020年国内12吋半导体零部件清洗市场大约有11.3亿人民币，而到2025年国内12吋半导体零部件清洗市场大约有23.4亿人民币，相对2020年市场实现翻倍，年复合增长率15.7%。

  8吋Fab国内共有32个，其中29个Fab运营情况相对良好，在进行未来市场预估时仅纳入这29个Fab的规划产能。2020年国内8吋半导体厂总产能有101.3万片/月，在2025年将达到152.7万片/月，产能增加约51%。根据以上的调研信息和预测分析，2020年国内8吋半导体零部件清洗市场大约有4.9亿人民币，而到2025年国内8吋半导体零部件清洗市场大约有7.1亿人民币，年复合增长率7.7%。

  LCD面板厂国内共有43个，运营情况均相对良好，在进行未来市场预估时仅纳入这43个运营状况良好的LCD面板厂的规划产能。2020年国内LCD面板厂总产能有3394千片/月，在2025年将达到3994万片/月，产能增加17.7%。根据以上的调研信息和预测分析，2020年国内LCD面板零部件清洗市场大约有7.3亿人民币，而到2025年国内LCD面板零部件清洗市场大约有8.8亿人民币，年复合增长率3.8%左右。

  OLED面板厂国内共有28个，运营情况均相对良好，在进行未来市场预估时仅纳入这28个运营状况良好的OLED面板厂的规划产能。2020年国内OLED面板厂总产能有581千片/月，在2025年将达到934万片/月，产能增加61%。根据以上的调研信息和预测分析，2020年国内OLED面板零部件清洗市场略超2.5亿人民币，而到2025年国内OLED面板零部件清洗市场接近4亿人民币，年复合增长率9.9%左右。

  从主要客户的洗净业务量看，京东方、海力士、三星、中芯、华虹集团、台积电和联电的市场大小如上图所示，京东方是面板界的巨无霸企业，每年的洗净费用累计超过6亿人民币，海力士和三星在国内的产能也非常大，每年的洗净费用也达到6亿人民币，中芯国际、华虹集团、台企（台积电和联电）在大陆工厂每年的清洗费用分别为2亿、1.5亿和1.5亿人民币。这几家泛半导体企业的洗净业务占整体市场的65%以上。

  主要以刻蚀设备和薄膜生长设备零部件业务为主，占比分别43%和35%，其他如面板的蒸镀、光刻工艺和蒸镀的关键制具Open Mask，半导体的离子注入、炉管、化学机械研磨和光刻工艺等也都有必要进行定期的洗净保养，但是业务比重不大。

  维修翻新是一个崭新的领域，芯谋研究参照美国VLSI的算法，保守估计2020市场远超过20亿人民币，5年内这一市场预计将达到50亿人民币。这一领域是设备原厂和子系统供应商的传统领地。目前设备原厂为降低维修翻新成本更希望打破子系统供应商对其零部件翻新维修业务的垄断，寻求与国内洗净厂商的合作，这样做才能够在减少相关成本的同时实现就地化服务。目前国内仅世禾、富乐德和高美可接触到少数几种零部件的维修翻新业务。

  前三类中的多数厂商市场扩展相对缓慢，固定合作业务以外的推广和布局相对保守。随市场向成熟方向发展，第四类公司凭借在资金、技术、人才、客户一些方面的优势，能够最终靠并购取长补短，既可以收购技术、工厂换取客户、市场，也可以凭借客户关系、成本优势和先进的技术抢占后发市场，比如近年来国内刚开始的维修翻新业务。

  上图是国内主要洗净厂商与设备原厂和国内几大制造工厂的关系。富乐德凭借较强的就地服务能力和全面的技术布局已经获得了AMAT、LAM和TEL的认证，是这三大设备厂商的重要洗净服务商，同时也获得了京东方、华星光电、天马、中芯、INTEL、台积电、华虹集团许多清洗业务，但是其刻蚀技术与传统刻蚀洗净服务商相比还有差距，市占率不高。华菱和科秉凭借领先的在半导体刻蚀洗净技术获得了设备原厂的认证，也拿到了中芯、华虹集团等的刻蚀洗净业务。高美可和西诺斯依靠韩系配套洗净服务商的身份，分享了韩国两大厂商的洗净市场。面板巨头京东方的洗净业务除了交给富乐德以外，还有很大一部分业务由应友光电和爱发科等完成。此外近年来，洗净市场涌入一些新公司，如羽顺芯半导体（武汉）有限公司、无锡凯威特斯等，通常这一些企业都有一些稳定的客户关系、技术相对落后、主要承接一些比较低端的业务，相当长一段时间内都不会具有挑战有突出贡献的公司的实力。

  目前国内洗净厂商未能全部包揽国内业务，其中半导体的刻蚀洗净业务很大部分被外发到韩国、台湾地区等刻蚀洗净能力较强的服务商完成，因为他们的陶瓷熔射和阳极氧化能力很强，这还会一并带走部分基础洗净业务。这一块流失市场初步估计2020年有接近5亿人民币，并将在2025年增长至8.7亿人民币。国内厂商能够最终靠研发投入、技术升级较容易拿回陶瓷熔射和阳极氧化市场。

  最后是维修翻新业务，对于洗净厂商而言，这是一个崭新的领域，之前一直被国外领先子系统供应商与设备原厂垄断。近年来设备原厂希望借助洗净服务商的维修翻新能力更多的参与这一业务，摆脱对子系统供应商的依赖。按照美国VLSI的计算方式，国内2020年维修翻新市场保守估计超过20亿人民币，预计在五年内市场将增长到50亿人民币。目前国内仅世禾、富乐德和高美可通过设备原厂触及到有限的几种零部件维修翻新业务。

  目前国内洗净厂商繁多，许多公司的销售额很低，而且由于研发技术不足没有上升空间。这一领域渡过粗放发展后，要经历一轮并购，加速产业融合，提升整体服务质量。洗净厂商应当准备好，适时整合产业资源。

  芯谋研究（ICwise）致力于成为一家根植于中国的世界级半导体及电子行业权威的研究机构，2021年4月荣获上海市集成电路行业协会20周年“行业特殊贡献奖”。目前，芯谋研究拥有五大部门。

  ：该部门基于研究团队对产业的深入理解，通过与产业界的广泛联系和全面调研，建立一手产业市场数据库，并发布权威市场数据、动态追踪和提供标准报告产品。

  ：该部门定位于服务企业和产业，主要是针对客户的个性化、特色化需求提供定制化的研究服务和顾问式服务。

  ：该部门提供全球及国内的半导体产业研究服务，重点服务国际知名半导体企业、投资机构及金融客户。

  ：该部门服务于中央、地方各级政府及有关部门委局办，助力政府与企业建立广泛交流与合作。

  ：秉持“求稳不求快、求精不求新、求深不求宠、求质不求量”的宗旨，坚持原创、深度的内容，从新闻到观点、从现象到本质、从问题到方案。

  ，领袖峰会已成为国内最有一定的影响力的产业峰会之一。2021年芯谋研究打造了线下沙龙品牌“芯片大家说/I Say IC！”，致力于成为最具影响力的IC人沙龙品牌。