油反转真空泵，运用真空泵油使得旋转部分十分光滑，真空密封性很高，可完成比较高的排气功能。具有价格实惠公正、紧凑、装置简易快捷等特色。单个油反转真空泵简略取得真空，具有优秀的经济性和操作性。

  ULVAC的ULK型油分散泵，是在常年的研讨和丰厚的制作经历的基础上规划的。是一种按临界背压较大来规划的小型高真空排气泵。

  涡轮分子泵是在分子流范畴排气速度必定，可进行接连排气。此外，不需要再生等保养作业，对H、He可完成十分高的排气功能。

  低温泵是将气体分子在极低温度面凝缩，经过吸附排出一切气体。（特别是水分的排气才能特别高）。真空容器内无物体动作，不运用油，可以得到清洁的真空。和吸附方法的泵相同，排气速度很大是其显著特色。

  干泵不运用油或许液体，所以真空腔体内可取得洁净的真空。从大气压到到大压力可大规模使用。

  经过机械增压泵、油反转泵、干泵等的粗泵组合，在粗泵排气速度下降的压力范畴，可大起伏进步排气速度。

  离子真空泵，由阳极和阴极构成的泵单元中，因为添加电场的简略原理，没有机械振动和噪音等可取得超·极高真空。

  钛提高泵，使用钛的提高作用可取得超高真空。和离子泵一同并用，可以得到极高真空。

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