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  1、2011/10/152011/10/15第一版A2编编 写：何剑坪写：何剑坪审审 核：核：批批 准：准：部部 门：门：IRIR一部一部编写日期编写日期：20122012年年5 5月月8 8日日培训目录1.泵的维护和保养2.线.日常保养泵的维护和保养泵的维护和保养泵的维护和保养莱宝机泵分类莱宝机泵大致上可以分为下列四种：1.前级线.Polycold压缩泵 由于莱宝机罗茨泵和Polycold压缩泵工作性质和结构较特殊，不在保养之列，在此也不做介绍。泵的维护和保养泵的维护和保养一、前级真空泵（机械泵）维护和保养1、基

  2、本定义： 前级线级（高低旋片）旋片式真空泵。高旋片旋转 带动气体通过腔体经低旋片排出。2、保养目的： 旋片在高速转动过程中需要大量真空泵油润滑，而真空泵油在长期直接 接触大气和旋片高速旋转所产生的高温条件下容易发生质变，所以需对其进 行定期更换。3、保养方法： 更换油时需将原来的旧油全部放掉，再将泵芯拆下，清洁泵芯残留物和 油污。拆下低转片排气口阀片，检查其是否有断裂并用丙酮和M3尼龙纱布清 洁其表面油污然后装回。4、注意事项： a、清洁完后需更换一些必要配件，如：过滤网、油封、轴套、密封垫等 b、装回备件后将新油加入可视窗一半左右位置即可。工作过程中需定期对 其进行点检

  3、，包括转动是否有异常声音；油位是否在正常位置等。二、扩散泵的维护和保养二、扩散泵的维护和保养1 1、基本基本定义定义： 扩散泵又称金属油扩散泵。所谓扩散就是气体密度均匀化的一种过程， 扩散泵底部油受热呈雾状经导流管从泵的喷嘴喷出向四周定向高速膨 胀（而不是射流），被抽容器的气体分子扩散到油雾膨胀波中，经碰 撞压缩后被逐级送到泵出口被前级泵抽走，油蒸汽在泵壁遇冷成油流 回泵底重新受热循环工作。2 2、保养目的：、保养目的： 扩散泵油在抽气过程中会将空气中粉尘和其他杂质带入泵底，杂质和 粉尘在泵底高温状态下容易发生质变，泵油与空气接触后流回泵底与 质变的 杂质接触，就会使油质逐渐变坏，就是俗称的“

  4、氧化”，所以 需定期对扩散泵油进行更换，并对泵体及泵芯进行清洁3 3、保养方法、保养方法 将扩散泵从设备上拆下后逐级取下泵芯，用丙酮和碎布清洁整个泵内壁 及其所有泵芯上面的油污和油垢，自然晾干后再逐级装回即可4 4、注意事项：注意事项： a、泵芯要轻拆轻放，不可碰撞，防止变形 b、注意泵芯水冷密封圈要平滑装入 c、注入新油油量约为5升左右 d、装好泵后需对泵进行检漏，并预抽线mba左右方可加 热投入工作泵的维护和保养泵的维护和保养真空计的维护和保养莱宝莱宝机所用真空计分类机所用真空计分类 莱莱宝镀膜机目前所使用的宝镀膜机目前所使用的真空计有：真空计有： 皮拉尼皮拉尼规规PSG5

  5、00 电离电离-皮拉尼皮拉尼复合规复合规 冷冷电离电离规即潘宁规规即潘宁规 电离皮拉尼复合规不在保养之列，在此不做介绍真空计的真空计的维护和保养维护和保养一、皮拉尼规的保养一、皮拉尼规的保养1 1、皮拉尼规的原理：皮拉尼规的原理： 皮拉尼规的型号很多，如皮拉尼规的型号很多，如PSG400/S,PSG050,PSG500等，我们现在等，我们现在使用使用的的是是PSG500型号，如下图：型号，如下图： 其基本工作的原理为：内部热丝发其基本工作的原理为：内部热丝发 热能量随气体浓度变化而变化，其热能量随气体浓度变化而变化，其 变化的比例关系就通过计算后经显变化的比例关系就通过计算后经显 示器反应其线、空度变化。示器反应其真空度变化。 当真空度当真空度测量不测量不准确，通过调节零准确，通过调节零 点而无法恢复时，说明其灯丝已经点而无法恢复时，说明其灯丝已经 污染，需要清洗。污染，需要清洗。 真空计的真空计的维护和保养维护和保养2 2、皮拉尼规的维护（清洗）皮拉尼规的维护（清洗） 清洗步骤：清洗步骤： a a、如图、如图拆开，拆开，移开移开 灯丝部分的挡板灯丝部分的挡板 b b、加入丙酮浸泡、加入丙酮浸泡5 5 分钟分钟 c c、倒出丙酮，放置、倒出丙酮，放置 自然干燥自然干燥 d d、安装灯丝挡板安装灯丝挡板 e e、连接好线路开机、连接好线路开机 调节零调节零点点 真空计的线、养维护和保养灯丝 二、潘宁规（冷电离规）的保养（清洗）1 1、潘宁规的工作原理：、潘宁规的工作原理： 潘宁规是通过阴极环放电产生电子，在磁场的作用下获得能量使气体 分子电离。电离后的电离子数量通过计算经显示器反应真空度。潘宁 规真空度主要作用是提供离子源线、潘宁规的清洗：、潘宁规的清洗： 照下图方法拆卸潘宁规： a、用镊子拆下阴极片 b、拆下阴极环，注意 轻摇轻晃，不能过 度搬动，防止断裂 c、倒出陶瓷绝缘垫 d、将所有拆下的配件 放入丙酮容器中浸 泡5分钟后自然晾干 真空计的真空计的维护和保养维护和保养3 3、潘宁规的安装：、潘宁规的安装： 潘宁规清洗完后自然晾干，如下图用镊子

  8、将配件逐个装回即可： a、装入陶瓷片 b、插入阴极环 c、调整阴极环位 置与两壁平行 d、装入阴极片 注意：拆装过程中 不可用手触碰 内部任何配件， 否则将会在工 作时引起打火！ 真空计的真空计的维护和保养维护和保养离子源的维护和保养一、离子源的工作一、离子源的工作原理原理1 1、离子源的工作原理：、离子源的工作原理： 离子源是采用低电压（离子源是采用低电压（8V8V）高电流（最高可达）高电流（最高可达250A250A）使石墨加）使石墨加热器加热阴极（六硼化镧）发射带有负电荷的电子，负电荷的电子跟热器加热阴极（六硼化镧）发射带有负电荷的电子，负电荷的电子跟阳极正电压之间形成一阳极正电压之间形成

  9、一个个等离子源等离子源。负电荷电子跟所充氩气发生碰撞负电荷电子跟所充氩气发生碰撞使氩离子电离，电离后的氩离子带有负电荷经线圈磁场作用向上运动使氩离子电离，电离后的氩离子带有负电荷经线圈磁场作用向上运动轰击真空室的氧气和材料分子，增加其跟基片的附着力。轰击真空室的氧气和材料分子，增加其跟基片的附着力。 离子源的维护和保养离子源的维护和保养离子源的维护和保养离子源的维护和保养二、离子源的结构二、离子源的结构 离子源结构如下离子源结构如下图图1.21.2所所示示： 1 2 3 4 1 2 3 4 离子源离子源分为阳极、阴极、线圈三大部分分为阳极、阴极、线圈三大部分a a、阳极分为阳极分为阳极管，阳极

  10、保护管、护壳和阳极管，阳极保护管、护壳和TP150TP150组成（如图组成（如图5.7.85.7.8）b b、阴极分为石墨加热器，六硼化镧阴极，加热器底座，三氧化二铝片和一些陶瓷、阴极分为石墨加热器，六硼化镧阴极，加热器底座，三氧化二铝片和一些陶瓷 绝缘器件和绝缘器件和TP250TP250组成（如图组成（如图3.4.63.4.6）c c、线圈分为偏转线圈，线圈电流发生器线圈分为偏转线圈，线圈电流发生器组成（如图组成（如图9 9） 5 6 7 8 9 5 6 7 8 9三、配件更换及保养三、配件更换及保养1 1、工具准备：、工具准备： 更换离子源配件需如下工具：更换离子源配件需如下工具： 加热器

  11、阴极提取器加热器阴极提取器 底座陶瓷夹底座陶瓷夹 阳极保护管（阳极筒）提取阳极保护管（阳极筒）提取器器 阳极管护阳极管护壳提取器壳提取器离子源的维护和保养离子源的维护和保养2 2、配件更换：、配件更换： 1 1、拿拿掉钢环掉钢环 5 5、再再依次取下如图配件依次取下如图配件 2 2、用用阳极筒提取器取出阳极筒提取器取出 阳极筒阳极筒 3 3、用、用加热器提取加热器提取器器 6 6、用长镊子取出陶瓷环、用长镊子取出陶瓷环 取出加热器取出加热器和阴极和阴极 4 4、拿拿掉阴极掉阴极 7.7.用用底座陶瓷夹子取出底座陶瓷夹子取出 底座陶瓷底座陶瓷 离子源的保养和维护离子源的保养和维护 1. 1.装底

  12、座陶装底座陶 4.4.将装好的加热器装回将装好的加热器装回 瓷环瓷环 加热器提取器中加热器提取器中 2. 2.装三氧化二铝装三氧化二铝 片和片和27.527.5陶瓷陶瓷 5.5.将加热器装回离将加热器装回离 环环 子源子源 3. 3. 依次依次将将21.521.5陶瓷环陶瓷环 6.6.装入装入32.532.5陶瓷环陶瓷环 11.5 11.5陶瓷环和阴极陶瓷环和阴极 装回加热器装回加热器 离子源的维护和保养离子源的维护和保养3 3、配件装配：、配件装配： 7. 7.把阳极筒装回离子源把阳极筒装回离子源 8. 8.将钢环平滑装回将钢环平滑装回 9. 9. 装好后的离子源装好后的离子源离子源的维护和

  13、保养离子源的维护和保养注意事项：注意事项：1.1.提取阳极筒和加热器时不可摇晃，需一次提出，以免损提取阳极筒和加热器时不可摇晃，需一次提出，以免损 伤阳极筒和弄断加热器，装回亦是如此。伤阳极筒和弄断加热器，装回亦是如此。2.2.阴极和陶瓷阴极和陶瓷器件容易损坏，取器件容易损坏，取、装时、装时需轻拿轻放需轻拿轻放3.3.将加热器装回加热器提取器中时，加热器底部刻槽应对将加热器装回加热器提取器中时，加热器底部刻槽应对 齐箭头方向齐箭头方向4.4.装钢环时注意钢环表面清洁，需用纯棉布擦拭后方可装装钢环时注意钢环表面清洁，需用纯棉布擦拭后方可装 5.5.整个作业过程中双手需戴纯棉手套作业。整个作业

  14、过程中双手需戴纯棉手套作业。6.6.离子源所有配件不可接触油污灰尘等污染物。离子源所有配件不可接触油污灰尘等污染物。7 7. .装好离子源后需对其进行全面吸尘方可工作。装好离子源后需对其进行全面吸尘方可工作。离子源的维护和保养离子源的维护和保养新旧耗材对比：新旧耗材对比：新阳极筒新阳极筒 旧阳极筒旧阳极筒 新阴极新阴极 使用使用 使用时使用时 污染污染 时间时间 间长（间长（ 阴极阴极 较短较短 有毒）有毒）注意：使用和污染后的阴极都有毒，不可非间接接触皮肤！注意：使用和污染后的阴极都有毒，不可直接接触皮肤！离子源的维护和保养离子源的维护和保养光控的维护和保养1.1.光控的维护和保养光控的维护和

  15、保养光控的维护和保养光控的维护和保养3.3.光控的维护和保养光控的维护和保养日常保养日常保养日常保养1材料挡板清洁喷砂次/1炉2阳极简清洁喷砂次/1炉3内左右护板清洁喷砂次/2炉4外左右护板清洁喷砂次/1炉5OMS3000清零次/1天6底护板清洁喷砂次/8炉7挂环清洁喷砂次/8炉8基片架清洁喷砂次/10炉9离子源挡板清洁喷砂次/10炉10离子源护壳清洁喷砂次/10炉11光纤镀膜伞清洁喷砂次/10炉12内不锈钢板清洁喷砂次/12炉13外不锈钢板清洁喷砂次/12炉14电子枪灯丝1#更换次/12炉15电子枪灯丝2#更换次/15炉16百叶窗清洁喷砂次/15炉17均匀性修正挡板清洁喷砂次/15炉18阴极更换次/60小时19330*115陶瓷环更换次/65小时20顶护板清洁喷砂次/20炉21滤光片镀膜伞清洁喷砂次/24炉22石墨加热器更换次/130小时23莱宝镀膜机主机电脑复位次/周24晶控探头的清洁喷砂次/周25晶控探头接触链的清洁丙酮擦洗次/周26真空室大清洁更换、清洁次/15天

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